微電子學(xué)章節(jié)練習(xí)(2019.08.21)

來源：考試資料網(wǎng)
參考答案：粘度越高轉(zhuǎn)速越低，光刻膠就越厚
參考答案：等離子是一種中性，高能量，離子化的氣體，包含中性原子或分子，帶電離子和自由電子。
RF能量的使用可以產(chǎn)生一個高...
參考答案：在顯影時曝光區(qū)域由溶劑引起的泡脹；曝光時光刻膠可與氮?dú)夥磻?yīng)從而抑制其交聯(lián) 。
4.名詞解釋平均自由程
參考答案：粒子和粒子碰撞前能夠移動的平均距離。
參考答案：半導(dǎo)體器件和集成電路的制造對光刻質(zhì)量有如下要求：
一是刻蝕的圖形完整，尺寸準(zhǔn)確，邊緣整齊陡直；
二是...
參考答案：

是將摻雜氣體導(dǎo)入放有硅片的高溫爐中，將雜質(zhì)擴(kuò)散到硅片內(nèi)的一種方法。

參考答案：光刻（photolithography）就是將掩模版（光刻版）上的幾何圖形轉(zhuǎn)移到覆蓋在半導(dǎo)體襯底表面的對光輻照敏感薄膜材...