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【簡答題】哪些基本工藝方法要用到掩膜板?并說明在這些工藝中掩膜板的主要作用。
答案:
光刻。
掩膜版的主要作用是確定了設(shè)計圖形的尺寸(即器件的尺寸和結(jié)構(gòu))和位置,以便轉(zhuǎn)移到材料上。
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答案:
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答案:
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