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【簡答題】外延層厚度包括哪幾個(gè)部分,公式里的四項(xiàng)分別指什么?
答案:
延層厚度應(yīng)滿足 Tepi>Xjc+Xmc+TBL-up+Tepi-ox
集區(qū)擴(kuò)散結(jié)深Xjc&ensp...
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【簡答題】簡述隱埋層雜質(zhì)的選擇原則
答案:
①雜質(zhì)固溶度大,以使集電極串聯(lián)電阻降低;
②高溫時(shí)在硅中的擴(kuò)散系數(shù)要小,以減小外延時(shí)隱埋層雜質(zhì)上推到外延層的距...
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【簡答題】如何計(jì)算killing ratio?
答案:
藉由defect map與yield map的迭圖與公式的運(yùn)算,可算出某種缺陷對良率的殺傷力。
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