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問答題

【簡答題】簡述隱埋層雜質(zhì)的選擇原則

答案： ①雜質(zhì)固溶度大，以使集電極串聯(lián)電阻降低；
②高溫時在硅中的擴(kuò)散系數(shù)要小，以減小外延時隱埋層雜質(zhì)上推到外延層的距...

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答案：藉由defect map與yield map的迭圖與公式的運算，可算出某種缺陷對良率的殺傷力。

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答案： ① 找出對良率影響最大的工藝步驟。
② 經(jīng)由killing ratio的計算來找出對良率影響最大的缺陷種類。

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