問答題

【簡答題】如何計算killing ratio?

答案：藉由defect map與yield map的迭圖與公式的運(yùn)算，可算出某種缺陷對良率的殺傷力。

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【簡答題】yield loss analysis的功能為何？

答案： ① 找出對良率影響最大的工藝步驟。
② 經(jīng)由killing ratio的計算來找出對良率影響最大的缺陷種類。

【簡答題】何謂yield loss analysis?

答案：收集并分析各工藝區(qū)間所產(chǎn)生的缺陷對產(chǎn)品良率的影響以決定改善良率的可能途徑。