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問答題

【簡答題】yield loss analysis的功能為何？

答案： ① 找出對良率影響最大的工藝步驟。
② 經(jīng)由killing ratio的計算來找出對良率影響最大的缺陷種類。

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【簡答題】簡述Zone partition的做法？

答案： ① 應用各檢察點既有的資料可初步判斷工藝中缺陷主要的分布情況。
② 應用既有的缺陷資料及d...