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【簡答題】雙極集成電路工藝中的七次光刻和四次擴散分別指什么?
答案:
七次光刻:N+隱埋層擴散孔光刻; P+隔離擴散孔光刻;P型基區(qū)擴散孔光刻;N+發(fā)射區(qū)擴散孔光刻;引線接觸孔光刻...
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【簡答題】外延層厚度包括哪幾個部分,公式里的四項分別指什么?
答案:
延層厚度應(yīng)滿足 Tepi>Xjc+Xmc+TBL-up+Tepi-ox
集區(qū)擴散結(jié)深Xjc&ensp...
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【簡答題】簡述隱埋層雜質(zhì)的選擇原則
答案:
①雜質(zhì)固溶度大,以使集電極串聯(lián)電阻降低;
②高溫時在硅中的擴散系數(shù)要小,以減小外延時隱埋層雜質(zhì)上推到外延層的距...
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