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【簡答題】列出沉積的5種主要技術(shù)。

答案：

化學(xué)氣相淀積（cvd）
電鍍
物理氣相淀積（pvd或濺射）
蒸發(fā)
旋涂方法

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【簡答題】RTP是熱壁系統(tǒng)還是冷壁系統(tǒng)？
答案：
是冷壁系統(tǒng)

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