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【簡(jiǎn)答題】RTP是熱壁系統(tǒng)還是冷壁系統(tǒng)?
答案:
是冷壁系統(tǒng)
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【簡(jiǎn)答題】什么是快速熱處理,相比于系統(tǒng)爐其6大優(yōu)點(diǎn)是什么?
答案:
快速熱處理是在非常短的時(shí)間內(nèi),將單個(gè)硅片加熱至400~1300攝氏度范圍內(nèi)的一種方法。
優(yōu)點(diǎn):減小熱預(yù)算。硅中...
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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述立式爐系統(tǒng)的五部分。
答案:
工藝腔,硅片傳輸系統(tǒng),氣體分配系統(tǒng),尾氣系統(tǒng),溫腔系統(tǒng)
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