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問答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述立式爐系統(tǒng)的五部分。
答案：
工藝腔，硅片傳輸系統(tǒng)，氣體分配系統(tǒng)，尾氣系統(tǒng)，溫腔系統(tǒng)
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問答題
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答案：
生長(zhǎng)速率隨著壓力增大而增大。高壓強(qiáng)迫使氧原子更快地穿越正在生長(zhǎng)的氧化層，這對(duì)線性和拋物線速率系數(shù)的增加很重要。這就允許降...
問答題
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答案：
線性氧化物速率依賴于晶向的原因是（111）面的硅原子密度比（100）面的大。因此，在線性階段，（111）硅單晶的氧化速率...
