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問答題
【簡(jiǎn)答題】列出并解釋替位雜質(zhì)在硅中的三種主要擴(kuò)散機(jī)制。
答案：
直接交換，空位交換，間隙擴(kuò)散：替位雜質(zhì)在硅中擴(kuò)散的第三個(gè)重要機(jī)制取決于硅自填隙原子的存在。
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問答題
【簡(jiǎn)答題】試說明擴(kuò)散工藝中常用的擴(kuò)散摻雜方法，并說明當(dāng)前實(shí)際工藝中使用的主要方法及理由。
答案：
固態(tài)源擴(kuò)散、液態(tài)源擴(kuò)散和氣態(tài)源擴(kuò)散。
硼和磷在室溫，低蒸汽壓下是固態(tài)的，很難熔化或蒸發(fā)，且用固態(tài)雜質(zhì)源也很難控...
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