問答題

【簡答題】試說明擴散工藝中常用的擴散摻雜方法，并說明當(dāng)前實際工藝中使用的主要方法及理由。

答案：固態(tài)源擴散、液態(tài)源擴散和氣態(tài)源擴散。
硼和磷在室溫，低蒸汽壓下是固態(tài)的，很難熔化或蒸發(fā)，且用固態(tài)雜質(zhì)源也很難控...

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目的：提高限定區(qū)域中的雜質(zhì)原子的濃度。
反型摻雜：摻雜...