問答題

【簡答題】Al/Si接觸中的尖楔現(xiàn)象？

答案： Al/Si接觸時，Si在Al膜的晶粒間界中快速擴散而離開接觸孔的同時，Al就向接觸孔內(nèi)運動，填充因Si離開而留下的空間。...

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【簡答題】金屬在IC中的作用有哪些？

答案： 1、MOSFET柵電極材料，
2、互連材料－－－將同一芯片內(nèi)的各個獨立的元器件連接成為具有一定功能的電路模塊，...

【簡答題】Al膜制備方法有？

答案：

電阻加熱蒸發(fā)法、電子束蒸發(fā)法、濺射法

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