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問答題
【簡答題】Al膜制備方法有？
答案：
電阻加熱蒸發(fā)法、電子束蒸發(fā)法、濺射法
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問答題
【簡答題】何謂氧化增強(qiáng)擴(kuò)散，發(fā)散區(qū)推進(jìn)效應(yīng)？產(chǎn)生機(jī)理是什么？
答案：
在熱氧化過程中原存在硅內(nèi)的某些摻雜原子顯現(xiàn)出更高的擴(kuò)散性，稱為氧化增強(qiáng)擴(kuò)散。機(jī)理：氧化誘生堆垛層錯(cuò)產(chǎn)生大量自填隙Si，間...
