問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】金屬在IC中的作用有哪些？

答案： 1、MOSFET柵電極材料，
2、互連材料－－－將同一芯片內(nèi)的各個(gè)獨(dú)立的元器件連接成為具有一定功能的電路模塊，...
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【簡(jiǎn)答題】Al膜制備方法有？
答案：

電阻加熱蒸發(fā)法、電子束蒸發(fā)法、濺射法
問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】IC對(duì)金屬材料特性有何要求？
答案： 1、與n＋、p＋硅或多晶硅形成低阻的歐姆接觸（接觸電阻小），利于提高電路速度，
2、抗電遷移性能好，長(zhǎng)時(shí)間在較...
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