問答題

【簡答題】為什么正膠在顯影時很容易被去掉？

答案：

因為正膠在曝光時被光照的光刻膠發(fā)生分解反應(yīng)。
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問答題

【簡答題】解決雙極型晶體管縱向按比例縮小問題的方法是什么？
答案：

采用多晶硅發(fā)射極結(jié)構(gòu)，避免發(fā)射區(qū)離子注入對硅表面的損傷。
問答題

【簡答題】N阱CMOS主要工藝步驟是什么？
答案：

1、底硅片的選擇；
2、作n阱場區(qū)氧化；
3、作硅柵→形成源、漏區(qū)；
4、成金屬互連線。
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