問答題

【簡(jiǎn)答題】為何各金屬層之間的連接大多都是采用CVD的W-plug（鎢插塞）？

答案：

① 因?yàn)閃有較低的電阻；
② W有較佳的step coverage（階梯覆蓋能力）。
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【簡(jiǎn)答題】Glue layer（粘合層）的沉積所處的位置、成分、薄膜沉積方法是什么？
答案： 因?yàn)閃較難附著在Salicide上,所以必須先沉積只Glue layer再沉積W Glue layer是為了增強(qiáng)粘合性而...
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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)單說(shuō)明Contact（CT）的形成步驟有那些？
答案： Contact是指器件與金屬線連接部分，分布在poly、AA上。
① Contact的Photo（光...
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