問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)單說(shuō)明Contact（CT）的形成步驟有那些？

答案： Contact是指器件與金屬線連接部分，分布在poly、AA上。
① Contact的Photo（光...
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② HDP-FSG（摻有氟離子的硅...
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答案： ① SiON層沉積（用來(lái)避免上層B，P滲入器件）；
② BPSG（摻有硼、磷的硅玻璃）層沉...
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