問答題

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答案: 因為W較難附著在Salicide上,所以必須先沉積只Glue layer再沉積W Glue layer是為了增強粘合性而...
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【簡答題】簡單說明Contact(CT)的形成步驟有那些?

答案: Contact是指器件與金屬線連接部分,分布在poly、AA上。
① Contact的Photo(光...
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【簡答題】一般介電層IMD的形成由那些層次組成?

答案: ① SRO層沉積(用來避免上層的氟離子往下滲入器件);
② HDP-FSG(摻有氟離子的硅...
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