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問答題
【簡答題】解釋為什么薄膜應力與測量時薄膜的溫度有關？為什么？
答案：
薄膜中的應力按成因劃分有本征應力和非本征應力。本征應力一般來源于薄膜淀積工藝本身是非平衡過程；非本征應力是由薄膜結構之外...
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問答題
【簡答題】比較同等摻雜濃度多晶硅和單晶硅電阻率的大??？解釋不同的原因。
答案：
相同摻雜雜質即使?jié)舛认嗤嗑Ч璧碾娮杪时葐尉Ч璧碾娮杪矢?。這是因為多晶硅石油晶粒和晶界組成，在晶粒內部的摻雜原子和在單晶...
