名詞解釋

恒定表面源擴(kuò)散

答案:

在整個(gè)擴(kuò)散過程中,雜質(zhì)不斷進(jìn)入硅中,而表面雜質(zhì)濃度始終保持不變。

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有限表面源擴(kuò)散

答案:

擴(kuò)散開始時(shí),表面放入一定量的雜質(zhì)源,而在以后的擴(kuò)散過程中不再有雜質(zhì)加入,此種擴(kuò)散稱為有限源擴(kuò)散。

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間隙式擴(kuò)散

答案: 間隙式擴(kuò)散指間隙式雜質(zhì)從一個(gè)間隙位置運(yùn)動(dòng)到相鄰的間隙位置。
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