名詞解釋

間隙式擴散

答案： 間隙式擴散指間隙式雜質從一個間隙位置運動到相鄰的間隙位置。
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名詞解釋

替位式擴散
答案：

占據晶格位置的外來原子稱為替位雜質。只有當替位雜質的近鄰晶格上出現空位，替位雜質才能比較輕易地運動到近鄰空位上。
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蒸發(fā)鍍膜
答案：

加熱蒸發(fā)源，使原子或分子從蒸發(fā)源表面逸出，形成蒸汽流并入射到硅片（襯底）表面，凝結形成固態(tài)薄膜。
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