名詞解釋

有限表面源擴散

答案:

擴散開始時,表面放入一定量的雜質(zhì)源,而在以后的擴散過程中不再有雜質(zhì)加入,此種擴散稱為有限源擴散。

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間隙式擴散

答案: 間隙式擴散指間隙式雜質(zhì)從一個間隙位置運動到相鄰的間隙位置。
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替位式擴散

答案:

占據(jù)晶格位置的外來原子稱為替位雜質(zhì)。只有當替位雜質(zhì)的近鄰晶格上出現(xiàn)空位,替位雜質(zhì)才能比較輕易地運動到近鄰空位上。

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