名詞解釋

答案：

擴(kuò)散開(kāi)始時(shí)，表面放入一定量的雜質(zhì)源，而在以后的擴(kuò)散過(guò)程中不再有雜質(zhì)加入，此種擴(kuò)散稱為有限源擴(kuò)散。

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答案：間隙式擴(kuò)散指間隙式雜質(zhì)從一個(gè)間隙位置運(yùn)動(dòng)到相鄰的間隙位置。

答案：

占據(jù)晶格位置的外來(lái)原子稱為替位雜質(zhì)。只有當(dāng)替位雜質(zhì)的近鄰晶格上出現(xiàn)空位，替位雜質(zhì)才能比較輕易地運(yùn)動(dòng)到近鄰空位上。