填空題

用于熱工藝的立式爐的主要控制系統(tǒng)分為五部分（）、（）、氣體分配系統(tǒng)、尾氣系統(tǒng)和（）。

答案： 工藝腔；硅片傳輸系統(tǒng)；溫控系統(tǒng)
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填空題

根據(jù)氧化劑的不同，熱氧化可分為（）、（）和（）。
答案： 干氧氧化；濕氧氧化；水汽氧化
填空題

熱氧化工藝的基本設(shè)備有三種（）、（）和（）。
答案： 臥式爐；立式爐；快速熱處理爐
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