填空題

根據(jù)氧化劑的不同，熱氧化可分為（）、（）和（）。

答案：干氧氧化；濕氧氧化；水汽氧化

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熱氧化工藝的基本設(shè)備有三種（）、（）和（）。

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制備半導(dǎo)體級硅的過程：1、（）；2、（）；3、（）。

答案：制備工業(yè)硅；生長硅單晶；提純