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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述摻氯氧化工藝。
答案：
在氧化工藝中，通常在氧化系統(tǒng)中通入少量的HCl氣體（濃度在3%以下）以改善SiO2–S...
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答案：
①可動(dòng)電荷： 指Na+、K+離子，來(lái)源于工藝中的化學(xué)試劑、器皿和各...
問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述硅熱氧化過(guò)程中有哪些階段？
答案：
第一階段：反應(yīng)速度決定氧化速度，主要因?yàn)檠醴肿印⑺肿映渥?，硅原子不足?br />第二階段：擴(kuò)散速度決定氧化速度，主要...
