問答題

【簡答題】簡述硅熱氧化過程中有哪些階段？

答案：第一階段：反應(yīng)速度決定氧化速度，主要因?yàn)檠醴肿?、水分子充足，硅原子不足?br />第二階段：擴(kuò)散速度決定氧化速度，主要...

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【簡答題】簡述什么是硅熱氧化以及氧化的工藝目的、氧化方式及其化學(xué)反應(yīng)式。

答案：硅熱氧化是氧分子或水分子在高溫下與硅發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并在硅片表面生長氧化硅的過程。
氧化的工藝目的：在硅片上生長...

不同（）的硅片，它的化學(xué)、電學(xué)、和機(jī)械性質(zhì)都（），這會影響最終的（）。例如（），界面態(tài)等。

答案：晶向；不同；器件性能；遷移率

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