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問答題

【簡答題】在實際的SiO₂–Si系統(tǒng)中，存在幾種電荷？

答案： ①可動電荷：指Na⁺、K⁺離子，來源于工藝中的化學(xué)試劑、器皿和各...

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【簡答題】簡述硅熱氧化過程中有哪些階段？

答案：第一階段：反應(yīng)速度決定氧化速度，主要因為氧分子、水分子充足，硅原子不足。
第二階段：擴(kuò)散速度決定氧化速度，主要...

【簡答題】簡述什么是硅熱氧化以及氧化的工藝目的、氧化方式及其化學(xué)反應(yīng)式。

答案：硅熱氧化是氧分子或水分子在高溫下與硅發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并在硅片表面生長氧化硅的過程。
氧化的工藝目的：在硅片上生長...