通過光化學(xué)反應(yīng)，將光刻板上的圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠上。
通過使用特定的溶液與需要被腐蝕的薄膜材料進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，進(jìn)而除去沒有被光刻膠覆蓋區(qū)域的薄膜。
是升高溫度的情況下給摻雜氧化硅加熱，使它發(fā)生流動(dòng)。
氧氣中攜帶一定量的水汽，Si在其中被氧化成SiO2的過程。
又稱光致抗蝕劑，由感光樹脂、增感劑和溶劑三種主要成分組成的對(duì)光敏感的混合液體。
