擴(kuò)散和離子注入
整形處理，切片，磨片和倒角，刻蝕，拋光，清洗，硅片評(píng)估，包裝。
凈化間的舞廳式布局為大的制造間具有10000級(jí)的級(jí)別，層流工作臺(tái)則提供一個(gè)100級(jí)的生產(chǎn)環(huán)境。
光刻就是將掩膜版（光刻版）上的幾何圖形轉(zhuǎn)移到覆蓋在半導(dǎo)體襯底表面的對(duì)光輻照敏感的薄膜材料（光刻膠）上去的工藝過程。
