問答題

【簡答題】試說明雙阱CMOS工藝中用到的主要光刻掩膜版及其作用。

答案:

N阱,P阱,多晶硅柵,N+源漏,P+源漏,接觸孔,通孔,金屬互聯(lián)及鈍化孔。

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問答題

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問答題

【簡答題】亞微米CMOS工藝采用的標準隔離技術(shù)是什么?試說明其主要工藝步驟。

答案: 淺槽溝道隔離(STI)技術(shù)
步驟:
Deposit Nitride,Oxide;
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