問答題

【簡答題】亞微米CMOS工藝采用的標(biāo)準(zhǔn)隔離技術(shù)是什么？試說明其主要工藝步驟。

答案： 淺槽溝道隔離（STI）技術(shù)
步驟：
Deposit Nitride，Oxide；
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