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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】在量測(cè)Contact /Via（是指metal與metal之間的連接）的接觸窗開的好不好時(shí), 我們是利用什么電性參數(shù)來(lái)得知的?

答案：通過(guò)Contact 或Via的 Rc值，Rc值越高，代表接觸窗的電阻越大, 一般來(lái)說(shuō)我們希望Rc 是越小越好的。

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答案： Top metal通常要比inter metal厚得多，0.18um工藝中inter me...

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【簡(jiǎn)答題】為何各金屬層之間的連接大多都是采用CVD的W-plug（鎢插塞）？

答案：

① 因?yàn)閃有較低的電阻；
② W有較佳的step coverage（階梯覆蓋能力）。