名詞解釋

OED/ORD

答案: 氧化增強擴散(OED)機理—存在替位-間隙交替的雙擴散;
氧化抑制擴散(ORD)機理—...
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名詞解釋

薄層電阻

答案:

結深為xj,長寬相等的一個擴散薄層的電阻(設平均電阻率為),就是該擴散層的方塊電阻(或薄層電阻)。

問答題

【簡答題】試說明橫向擴散以及橫向擴散的主要影響。

答案: 實際擴散過程中,雜質(zhì)除了進行垂直于晶片表面進行擴散外,還有平行于表面的橫向擴散。
橫向擴散效應:使擴散區(qū)之間的...
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