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【簡答題】試說明橫向擴散以及橫向擴散的主要影響。
答案:
實際擴散過程中,雜質(zhì)除了進行垂直于晶片表面進行擴散外,還有平行于表面的橫向擴散。
橫向擴散效應:使擴散區(qū)之間的...
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問答題
【簡答題】什么是擴散的相互作用?試舉一例說明其對半導體器件的制造有何影響及其產(chǎn)生的原因。
答案:
當兩種不同的雜質(zhì)先后擴入同一晶體內(nèi),當?shù)诙N雜質(zhì)擴散時,第一種雜質(zhì)仍在繼續(xù)擴散;第一種雜質(zhì)的后續(xù)擴散、最終的分布和結(jié)深的...
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【簡答題】說明氧化氣氛對擴散有何影響及原因?
答案:
與中性氣氛相比,在熱氧化氣氛中進行的擴散,雜質(zhì)的擴散系數(shù)和濃度分布均發(fā)生變化。由于氧化導致自間隙硅原子的產(chǎn)生,故對于硼,...
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