問答題

【簡答題】說明氧化氣氛對擴散有何影響及原因？

答案： 與中性氣氛相比，在熱氧化氣氛中進行的擴散，雜質的擴散系數(shù)和濃度分布均發(fā)生變化。由于氧化導致自間隙硅原子的產(chǎn)生，故對于硼，...
題目列表

你可能感興趣的試題

問答題

【簡答題】根據(jù)空位機制下的總擴散系數(shù)公式，給出本征硅，低濃度摻雜，N型重摻雜及P型重摻雜下的擴散系數(shù)公式。
答案： 本征硅的擴散系數(shù)：硅中空位主要是中性空位；
低摻雜（本征）下的擴散系數(shù)：雜質濃度與本征載流子濃度幾乎相等（n=...
問答題

【簡答題】列出并解釋替位雜質在硅中的三種主要擴散機制。
答案： 直接交換，空位交換，間隙擴散：替位雜質在硅中擴散的第三個重要機制取決于硅自填隙原子的存在。
微信掃碼免費搜題