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問答題
【簡答題】試對(duì)比分析擴(kuò)散工藝和離子注入工藝的特征和特點(diǎn)。
答案：
擴(kuò)散是高溫工藝，需要SiO2這樣的耐高溫硬掩膜，其擴(kuò)散形成的結(jié)深較深。擴(kuò)散是各向同性的，因此有較大...
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問答題
【簡答題】請(qǐng)闡述擴(kuò)散的局限性。
答案：
與離子注入工藝相比，擴(kuò)散工藝的局限性在于：
1）擴(kuò)散是各向同性的，其掩膜下方會(huì)有嚴(yán)重的橫向擴(kuò)散效應(yīng)，因而不適于...
1）擴(kuò)散是各向同性的，其掩膜下方會(huì)有嚴(yán)重的橫向擴(kuò)散效應(yīng)，因而不適于...
