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問答題
【簡(jiǎn)答題】什么是離子注入的溝道效應(yīng)？消除溝道效應(yīng)的途徑有哪些？
答案：
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問答題
【簡(jiǎn)答題】請(qǐng)闡述擴(kuò)散的局限性。
答案：
與離子注入工藝相比，擴(kuò)散工藝的局限性在于：
1）擴(kuò)散是各向同性的，其掩膜下方會(huì)有嚴(yán)重的橫向擴(kuò)散效應(yīng)，因而不適于...
1）擴(kuò)散是各向同性的，其掩膜下方會(huì)有嚴(yán)重的橫向擴(kuò)散效應(yīng)，因而不適于...
問答題
【簡(jiǎn)答題】實(shí)際氧化工藝為什么要采用先干氧、再濕氧、最后再干氧的氧化方法？
答案：
干氧的氧化速率最慢，但其氧化層質(zhì)量最好。濕氧的氧化速率快，但其氧化層質(zhì)量不如干氧工藝。實(shí)際氧化工藝多采用干氧-濕氧-干氧...
