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【簡答題】什么是Rc? Rc代表什么意義?
答案:
接觸窗電阻,具體指金屬和半導體(contact)或金屬和金屬(via),在相接觸時在節(jié)處所形成的電阻,一般要求此電阻越小...
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【簡答題】在量測Contact /Via(是指metal與metal之間的連接)的接觸窗開的好不好時, 我們是利用什么電性參數(shù)來得知的?
答案:
通過Contact 或Via的 Rc值,Rc值越高,代表接觸窗的電阻越大, 一般來說我們希望Rc 是越小越好的。
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【簡答題】Top metal和inter metal的厚度,線寬有何不同?
答案:
Top metal通常要比inter metal厚得多,0.18um工藝中inter me...
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