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問答題
【簡(jiǎn)答題】如何解決MOS器件中的寄生雙極晶體管效應(yīng)？
答案：
（1）增大基區(qū)寬度：由工藝決定；
（2）使襯底可靠接地或電源。
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問答題
【簡(jiǎn)答題】如何解決MOS器件的場(chǎng)區(qū)寄生MOSFET效應(yīng)？
答案：
在第二次光刻生成有源區(qū)時(shí)，進(jìn)行場(chǎng)氧生長(zhǎng)前進(jìn)行場(chǎng)區(qū)離子注入，提高寄生MOSFET的閾值電壓，使其不易開啟；增加場(chǎng)氧生長(zhǎng)厚度...
問答題
【簡(jiǎn)答題】消除“Latch-up”效應(yīng)的方法？
答案：
版圖設(shè)計(jì)時(shí)：為減小寄生電阻Rs和Rw，版圖設(shè)計(jì)時(shí)采用雙阱工藝、多增加電源和地接觸孔數(shù)目，加粗電源線和地線，對(duì)接觸進(jìn)行合理...
