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問答題
【簡答題】在量測Poly/metal導(dǎo)線的特性時, 是利用什么電性參數(shù)得知?
答案：
答可由電性量測所得的spacing & Rs 值來表現(xiàn)導(dǎo)線是否異常。
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【簡答題】什么是Rc? Rc代表什么意義？
答案：
接觸窗電阻，具體指金屬和半導(dǎo)體（contact）或金屬和金屬(via)，在相接觸時在節(jié)處所形成的電阻，一般要求此電阻越小...
