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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】何謂硅化物( salicide)?
答案：
Si與Ti或Co形成TiSix或CoSix, 一般來(lái)說(shuō)是用來(lái)降低接觸電阻值（Rs, Rc）。
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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)單說(shuō)明SAB工藝的流層中要注意哪些？
答案：
①SAB 光刻后（photo），刻蝕后（etch）的圖案（特別是小塊區(qū)域）。要確定有完整的包覆（block）住...
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【簡(jiǎn)答題】SAB是什么的縮寫(xiě)? 目的為何？
答案：
SAB：Salicide block, 用于保護(hù)硅片表面，在RPO (Resist Protect Oxide) 的保...
