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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】如果旋涂室內(nèi)濕度升高，溫度不變，OD會(huì)如何變化？

答案：OD會(huì)隨溫度的增加而降低。

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【簡(jiǎn)答題】在調(diào)整旋涂時(shí)，請(qǐng)簡(jiǎn)單說(shuō)明如何降低尾部OD？
答案：增加第三段加速度或降低二段加速度。

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