問答題

【簡答題】形成SOI材料的主要技術(shù)是什么？

答案：

注氧隔離技術(shù)、鍵合減薄技術(shù)、智能剝離技術(shù)。
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問答題

【簡答題】在場區(qū)中，防止出現(xiàn)寄生溝道的措施是什么？
答案：

足夠厚的場氧化層、場區(qū)注硼、合理的版圖。
問答題

【簡答題】圖形的加工是通過什么工藝完成的？
答案：

光刻和刻蝕
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