問答題

【簡答題】在場區(qū)中，防止出現(xiàn)寄生溝道的措施是什么？

答案：

足夠厚的場氧化層、場區(qū)注硼、合理的版圖。

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答案：

光刻和刻蝕

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答案：

特征尺寸不斷縮小、增大芯片面積及單元結構的改進。