問答題

【簡答題】接觸曝光方式的關(guān)鍵技術(shù)有哪些？它的主要優(yōu)缺點是什么？

答案： 需要一股很粗的光束、一個很大的透鏡，以及一套良好的光學(xué)系統(tǒng)；
精確度較高但非理想接觸導(dǎo)致LSI芯片合格率不高，...
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問答題

【簡答題】光刻的曝光方式有幾種？各有何特點？
答案： 接觸和非接觸兩種，非接觸分為接近式和投影式
接觸式：精確度高，但掩膜易磨損，消耗大非接觸式
接近式：...
問答題

【簡答題】負(fù)性和正性光刻膠有什么區(qū)別和特點？
答案： 特點：光刻膠都對大部分可見光靈敏，對黃光不靈敏。
區(qū)別：負(fù)性光刻膠使用時，未感光部分被適當(dāng)?shù)娜軇┛涛g，而感光部...
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