問答題

【簡答題】掩模制作方法有哪些?

答案:

圖案發(fā)生器方法、X射線制版、電子束掃描法

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【簡答題】什么是掩模?掩模與集成電路制造有什么關系?制做掩模的數(shù)據(jù)從哪兒來?

答案:

掩膜是涂有特定圖案的鉻薄層(60~80nm)的均勻平坦的石英玻璃薄片、一層掩膜對應一塊IC的一層材料的加工、版圖。

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【簡答題】分子束外延生長有什么特點?

答案:

只能在超真空中進行且量產較低、在GaAs基片上生長無限多外延層、可以控制參雜的深度和精度到納米級

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