只能在超真空中進(jìn)行且量產(chǎn)較低、在GaAs基片上生長(zhǎng)無(wú)限多外延層、可以控制參雜的深度和精度到納米級(jí)
它是一種冷壁工藝,只要將襯底控制到一定溫度就行了
最簡(jiǎn)單最廉價(jià)但其外延層的質(zhì)量不高