最簡單最廉價但其外延層的質(zhì)量不高
把至少一種外延層組成元素以鹵化物形式通過襯底并發(fā)生鹵素析出反應(yīng)從而形成外延層的過程,它屬于氣相外延生長法。
液態(tài)生長、氣相外延生長、金屬有機物氣相外延生長、分子束外延生長。