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【簡答題】依對良率的影響Defect可分為?
答案:
① Killer defect =>對良率有影響
② No...
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【簡答題】Defect的種類依掉落位置區(qū)分可分為哪些?
答案:
① Random defect : defect分布很散亂
②&ens...
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【簡答題】簡述Defect的來源?
答案:
① 素材本身:包括wafer,氣體,純水,化學(xué)藥品。
② 外在環(huán)境:包含潔凈室,傳送系統(tǒng)與...
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